X-射线光电子能谱仪
时间：2016-12-15 13:32:34 来源：X-射线光电子能谱仪
ESCALAB250Xi 型X射线光电子能谱仪（XPS）是一种表面分析仪器，2011年从美国热电公司引进。XPS基于光电效应，采用X射线激发被测样品表面纳米尺度内的原子发射光电子，通过系统探测到所发射光电子的动能等信息，进而分析样品表面及不同深度上的元素种类及化合态。
XPS可实现金属材料的镀锌、镀铝等金属合金涂层及渗层、耐指纹板、真空镀膜、硅钢表面绝缘层等材料表面元素及化合态的定性和定量分析，通过刻蚀实现深度剖析即元素或化合态的深度分布分析。目前广泛应用于钢铁、化工、催化、薄膜、半导体、纳米材料以及微器件等科研和工业测试领域。