电子探针

时间:2016-12-15 13:40:28  来源:
 
 
 
EPMA 1610型电子探针2009年购置于日本岛津公司。电子探针是指用聚焦电子束照射样品表面,用波谱仪测量电子与试样相互作用所产生的特征X射线,从而对微小区域所含元素进行定性或定量分析。电子探针是目前微区成分定量分析最精确的仪器。电子探针的电子束不仅能固定在一点进行成分定性和定量分析,而且可以在一条线上或一个区域内扫描,给出该区域的元素分布。电子探针还可以利用二次电子像或背散射电子像进行形貌观察,同时完成材料的微区显微形貌分析和成分分析。